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產品名稱：MC 氣體標準質量流量控制器

發布時間：2023-12-22

產品型號：MC型

產品特點：MC 氣體標準質量流量控制器控制響應很快、很穩定的質量流量控制器，可測量并控制低至2.5微升的流量，依照用戶應用需求量身定制閥門孔徑以確保達到很好工作效果。

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MC型MC 氣體標準質量流量控制器的詳細資料：

MC 氣體標準質量流量控制器產品介紹：

MC 氣體標準質量流量控制器全球控制響應很快、很穩定的質量流量控制器，可測量并控制低至2.5微升的流量，依照用戶應用需求量身定制閥門孔徑以確保達到很好工作效果。

所有氣體的滿量程流量在0.5 SCCM和 5000 SLPM之間（ H2 為 10,000 SLPM）

監測四個變量：質量流量、體積流量、壓力和溫度

控制三個變量之一：質量流量、體積流量或壓力

預加載98 多種氣體校準且可供用戶選擇

本地、模擬或數字控制，包括工業協議

技術參數：

穩態控制范圍：滿量程的0.01% – 100%

NIST 可追溯校準

標準精度：讀數的 ±0.6% 或滿量程的 ±0.1%，以較大者為準

高精度：讀數的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%，以較大者為準

重復性：±（讀數的0.1% + 滿量程的0.02%）

典型控制響應時間：快至 30 ms

預熱時間：<1秒

兼容氣體：98+ 純氣體和混合非腐蝕性氣體

工作溫度：–10°C 至 +60°C

滿量程工作壓力：160 PSIA (11 barA)

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